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光刻机

序号 代码 名称 概念 概念细节 30天 60天 一年 高送 股价 流通市值 除权日 涨停日期 上市时间
1 002008 大族激光 光刻机 2023年2月15日互动易回复：公司生产的接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划，并加大研发核心部件国产化。 0 0 0 23.3 228.18 2004-6-25
2 002549 凯美特气 光刻机 2023年半年报：控股子公司凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证。 0 0 0 10.26 71.04 2011-2-18
3 002816 *ST和科 光刻机 根据2025年3月5日互动易，和科达半导体专注于半导体专用设备的研发、生产和销售，为半导体先进封装及前道制程的方案解决供应商。主要产品涵盖晶圆清洗设备、匀胶显影设备、无掩膜光刻机、微影光刻机和晶圆去胶机等。和科达半导体公司当前营收规模相对有限，对公司整体业绩贡献度较低。 0 0 0 19.97 19.97 2016-10-25
4 002889 东方嘉盛 光刻机 2023年9月8日互动易回复：公司上半年向深圳海关申请设立寄售维修保税仓库已获批通过。七月初公司已经中标，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，共同在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供全天候快速响应的光刻机寄售维修服务。 0 0 0 20.07 36.02 2017-7-31
5 300219 鸿利智汇 光刻机 2024年12月9日互动易回复，公司参股公司广州市鸿利秉一光电科技有限公司生产的 UV LED部分产品有应用于光刻机领域 0 0 0 6.24 44.09 2011-5-18
6 300260 新莱应材 光刻机 2021年6月22日互动易：光刻机的相关工艺需要在超高真空以及特殊气体的条件下完成，公司真空产品的AdvanTorr品牌以及气体产品的NanoPure品牌均可以应用到光刻机的设备中，公司的客户中已经包含光刻机设备的制造商。 0 0 0 34.46 99.12 2011-9-6
7 300293 蓝英装备 光刻机 2021年12月10日投资者关系记录表：公司精密清洗设备面向的高端芯片制造行业企业客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。 0 0 0 21.93 61.48 2012-3-8
8 300331 苏大维格 光刻机 根据2023年5月17日业绩说明会，公司已向相关客户提供IC芯片光刻机用定位光栅尺产品并实现销售。公司在IC芯片掩膜版、OLED掩膜版领域的设备研发等进展请关注公司后续公告或资讯。根据2023年10月8日公告，公司不涉及芯片光刻机整机生产。 0 0 0 21.15 43.61 2012-6-28
9 300456 赛微电子 光刻机 2023年9月14日互动易：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，该类业务一直为公司工艺门槛极高的优势业务 0 0 0 16.47 97.75 2015-5-14
10 300666 江丰电子 光刻机 根据2024年年报，公司研发的半导体用多层薄壁钛合金扩散焊接项目开发项目，开发多层钛合金扩散焊接技术，制备28nm以下节点的光刻机核心冷却部件，已进入量产阶段。 0 0 0 73.57 162.63 2017-6-15
11 600353 旭光电子 光刻机 2023年11月7日互动易回复：公司用于光刻机、等离子清洗/抛光等半导体设备领域的发射管产品已经客户验证通过，并实现批量销售。 0 0 0 10.52 87.19 2002-11-20
12 600619 海立股份 光刻机 根据公司官网：海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机得冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。 0 0 0 11.79 93.04 1992-11-16
13 600850 电科数字 光刻机 2022年11月26日公司公告：在先进制造领域，子公司柏飞电子为轨道交通龙头企业提供信号控制产品，为半导体装备生产商提供光刻机的控制器。 0 0 0 23.33 143.15 1994-3-24
14 600895 张江高科 光刻机 根据2024年9月10日互动易，根据公司2016-003号公告，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司22,345万元人民币，持有上海微电子公司10.779%的股权，后续未实施增持或减持。 0 0 0 25.52 395.23 1996-4-22
15 603005 晶方科技 光刻机 2022年7月17日互动易：公司下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商，部分产品运用于光刻机部件。 0 0 0 27.04 176.35 2014-2-10
16 603360 百傲化学 光刻机 2024年10月8日公告，公司全资子公司上海芯傲华科技有限公司 拟以人民币 7 亿元增资苏州芯慧联半导体科技有限公司增资后直接持有其 46.6667%股权，并通过接受表决权委托方式合计控制其 54.6342%股权的表决权。该公司主营业务为涂胶显影机、光刻机等黄光制程设备。 0 0 0 28.25 142.5 2017-2-6
17 603738 泰晶科技 光刻机 2022年11月14日互动易回复：公司深耕光刻工艺技术十余年，在国内率先实现MEMS光刻工艺的产业化应用，并在技术、工艺、产品上保持了与国际前沿技术水平的同步，光刻晶片包含超高频MHz和kHz，光刻晶片自主研发，自主可控；公司已经与EPSON、NDK、大真空、精工等同行开展不同方式的合作，将进一步加大合作力度，以充分发挥各方技术与产品优势，强化光刻工艺产品、车规级晶振等方面的互动合作，同时公司部分自主研发生产的关键核心设备，以其更匹适生产工艺的优质性能，达到国际先进技术标准供应给日系同行。 0 0 0 13.59 52.91 2016-9-28
18 300786 国林科技 光刻机 2023年9月14日互动易回复：子公司国林半导体臭氧设备产品从2022年下半年开始进行市场导入，2023年以来陆续在半导体、面板、科研等行业领域出货验证，该产品用于化学气相沉积（CVD）、原子层薄膜沉积（ALD）、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。 0 0 0 14.41 21.14 2019-7-23
19 688199 久日新材 光刻机 2021年9月6日投资者互动记录：子公司大晶信息的有光刻机溶剂，拥有600吨光敏剂产能。 0 0 0 17.76 28.63 2019-11-5
20 688268 华特气体 光刻机 2020年2月27日互动易：公司用于集成电路等离子蚀刻的高纯六氟乙烷是国内首家，用于光刻机的光刻气系列产品都是国内首家，市占率都大于50%。 0 0 0 49.12 59.05 2019-12-26
21 688195 腾景科技 光刻机 2023年半年报：公司合分束器项目应用于光刻机光学系统，可满足国产替代进口的需求。 0 0 0 39.43 51.0 2021-3-26
22 688630 芯碁微装 光刻机 2023年9月5日互动易：在制版光刻机领域，目前主流制程在100-400nm工艺区间,公司将尽快推出量产90nm节点制版需求的光刻设备以满足半导体掩膜版技术的更新迭代 0 0 0 68.68 90.48 2021-4-1
23 003043 华亚智能 光刻机 2023年9月14日互动易回复：公司已向客户少量供应应用于光刻机设备的精密金属结构件产品。 0 0 0 52.41 29.32 2021-4-6
24 003031 中瓷电子 光刻机 2023年9月6日互动易回复：公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等半导体关键设备中。 0 0 0 47.33 161.0 2021-1-4
25 300990 同飞股份 光刻机 2023年半年报：公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。 0 0 0 45.07 34.88 2021-5-12
26 688167 炬光科技 光刻机 2023年3月20日互动易回复：公司多年来一直为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件――光场匀化器（招股书中“光场匀化器――光刻应用”），供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。同时，公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。 0 0 0 69.29 62.61 2021-12-24
27 688409 富创精密 光刻机 根据公司招股说明书：公司结构零部件（基板、冷却板等）多种产品应用于光刻机、涂胶显影设备，主要客户有上海微电子、芯源微。 0 0 0 51.15 90.64 2022-10-10
28 688376 美埃科技 光刻机 公司上市保荐书：公司为上海微电子装备（集团）股份有限公司开发国内首台 28 纳米光刻设备工艺制程所需的机台内国际最高洁净等级标准（ISO Class 1 级）洁净环境提供 EFU （超薄型设备端自带风机过滤机组）及 ULPA（超高效过滤器）等产品，亦已验收合格，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。此外，在海外市场，公司系Intel、 ST Microelectronics 等国际半导体厂商的合格供应商，为其提供空气净化产品。公司在前述产品核心技术指标、客户信赖度等方面，可与国际品牌平行竞争，处于国内品牌领先的地位。 0 0 0 34.51 17.6 2022-11-18
29 301297 富乐德 光刻机 2023年9月8日互动易回复：公司已研发并量产半导体14nm制程洗净工艺、储备的半导体7nm部品清洗工艺已较为成熟。公司为光刻环节的溶胶显影、涂胶等设备提供精密洗净服务。 0 0 0 47.46 65.68 2022-12-30
30 688307 中润光学 光刻机 根据2025年4月28日公告：公司拟使用自有资金及并购贷款 14,119.66 万元和部分超募资金 1,690.34 万元合计 15,810.00 万元收购戴斯光电共计 51%的股权， 对应标的公司的出资额为2,503.6364 万元。 本次交易完成后， 戴斯光电将成为公司的控股子公司。戴斯光电研发的2D成像模组、白光三角3D模组等产品主要应用于半导体检测、半导体晶圆高速检测、电路板检测以及其余高性能检测场合，主要客户包括上海隐冠、华亚智能等，终端应用客户包括华为等。戴斯光电研发生产的高端滤光片主要应用于光刻机、生物滤光片 等 高 端 场 镜 ， 主 要 客 户 为NEWPORT、THROLABS、KLA、COHERENT、创鑫激光等，终端应用客户包括ASML等。 0 0 0 27.47 15.97 2023-2-16
31 688502 茂莱光学 光刻机 2024年9月25日互动易：公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的核心模块。 0 0 0 275.75 46.33 2023-3-9
32 301421 波长光电 光刻机 2023年8月25日互动易回复：在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。 0 0 0 60.12 27.84 2023-8-23
33 301568 思泰克 光刻机 2024年5月30日公告：公司以自有资金向思坦科技出资 3, 600 万元人民币，本次增资完成后，公司将持有思坦科技 1.94%的股权。据思坦科技2024年10月18日官微：由思坦科技与南方科技大学、中国香港科技大学、国家第三代半导体技术创新中心（苏州）联合攻关的重大成果――基于高功率 AlGaN 深紫外 Micro-LED 显示的无掩膜光刻技术，于10月15日正式在国际顶尖权威学术期刊 Nature Photonics 上发表。本次报道，既代表思坦科技在 Micro-LED 无掩膜光刻领域取得了突破性成果，同时也标志着半导体行业的制造工艺即将迎来革命性进展。 0 0 0 34.74 16.55 2023-11-28
34 301611 珂玛科技 光刻机 据招股说明书：公司先进陶瓷材料零部件主要用于半导体制造前道工序，报告期内已覆盖刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散设备。应用公司产品的前道设备包括光刻机、涂胶显影设备，公司境内代表性客户包括上海微电子、科益虹源、芯源微。 0 0 0 54.5 32.7 2024-8-16


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